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無塵車間的安裝系統(tǒng)維護保養(yǎng)管理

清潔要求
（1）、清潔潔凈室內(nèi)的墻時應(yīng)使用潔凈室無塵布；
（2）、用90％去離子水和10％的異丙醇配置清潔劑；
（3）、使用已獲批準的潔凈室去污劑；
（4）、每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。
（5）、每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應(yīng)在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結(jié)束從哪開始。
（6）、清潔潔凈室的地面應(yīng)使用拖把。
（7）、在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有過濾器的真空吸塵器。
（8）、所有的門都需要檢查并擦干
（9）、吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。
（10）、架空地板下也要吸塵及擦拭。
(11)、三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。
（12）、工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門遠的地方向門的方向擦。


無塵車間安裝內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，本節(jié)將對該二系統(tǒng)之運轉(zhuǎn)維護及保養(yǎng)做一概略說明。
無塵車間安裝內(nèi)之生產(chǎn)制造設(shè)備注意之有三：
1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：
a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動部分之發(fā)塵。
b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。
d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無塵車間安裝外面或回風區(qū)，并加裝排氣管線排氣。
f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。
h.應(yīng)加強注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當造成結(jié)露生銹。
i.當設(shè)備維修時易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進行，并加隔離柵隔離。
j.對于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進出無塵車間安裝之各項規(guī)定，且負責應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。
k.應(yīng)有無塵車間安裝工具組，但不得帶出無塵車間安裝外使用。
l.規(guī)劃空間時若能臨近無塵車間安裝設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊置放室，將是一理想之規(guī)劃。
2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施：
a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。
b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應(yīng)布置于風尾地點。
c.在操作時，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。
d.不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。
e.各項廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。
f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。
3.自動化與無塵化：
a.設(shè)立自動化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費用相當昂貴，須詳加評估。
b.建立管制項目如進入無塵車間安裝人員的限定，無塵車間安裝作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，無塵車間安裝管理規(guī)則等，這些規(guī)則已在前面敘述，此處不再說明。
在無塵車間安裝之維護管理方面，可分三部分加以說明：
1.建筑物之維護管理：
a.建筑物內(nèi)定期檢查清潔。
b.地板之清掃管理及損壞更新。
c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補。
d.窗戶及門之保養(yǎng)等。
2.環(huán)境測定與管理：
無塵車間安裝內(nèi)之運轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定期量測，以確實掌握質(zhì)量，若有數(shù)據(jù)異常，可立即做緊急處理。
3.防塵空調(diào)設(shè)備之維護管理：
a.溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面以述及，唯其量測儀器應(yīng)做定期校正檢驗，若有設(shè)備移動或施工時須做局部測量。
b.過濾網(wǎng)之管理：定期檢查及更換，表6為各種過濾網(wǎng)之檢查及更換周期。
c.空氣調(diào)節(jié)器管理：定期檢查隔板接縫及內(nèi)部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現(xiàn)象。
d.送風機之管理：定期檢查送風機運轉(zhuǎn)狀況。如表7所示為送風機之各項檢查內(nèi)容及周期。
e.風管及出風口之管理：檢查風管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。
f.測試及量測儀器管理：定期校正及保養(yǎng)。
g.室內(nèi)壓力管理：連續(xù)監(jiān)視室內(nèi)壓力記錄，以維持正壓為基準。
h.冷凍主機、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理：定期檢查保養(yǎng)及記錄運轉(zhuǎn)狀況及水質(zhì)變化分析，以調(diào)整加藥量等。
i.無塵車間安裝停止運轉(zhuǎn)再開機要點管理：啟動后立即進行微塵粒子之測試，須無塵車間安裝恢復(fù)穩(wěn)定正常時再開始作業(yè)。
無塵車間安裝內(nèi)用品的管理


無塵車間安裝內(nèi)用品除了進出無塵車間安裝用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。
潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物之材質(zhì)，另外經(jīng)過磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙或無紡布制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。無塵車間安裝用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑料底，布質(zhì)部分則采用與潔凈服相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Viny1），在使用過程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時須去除或停用，原則上不使用有粉之Viny1手套為佳。
潔凈衣鞋帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在無塵車間安裝內(nèi)進行。并以純水配合清潔溶劑，并經(jīng)約0.2μm之過濾器為之。一般洗滌周期視潔凈度等級而定，在高潔凈區(qū)（CLASS1）為2~3天，其它區(qū)域則為五天至一星期，洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。潔凈衣之置放場所亦須為無塵車間安裝，備用品或新品存放柜內(nèi)，正使用者則吊掛衣架上，以方便取用。
桌椅一般以不銹鋼材質(zhì)，并需表面加工處理為之，若不得不使用鍍鋅品或木制品，其表面須施環(huán)氧樹脂（Epxoy）加工以防表面發(fā)塵。工作桌好有打洞，邊緣有倒角。以利氣流之運動。椅子盡量采用沒有背及腳踏板者，椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為原則。但若一定須使用高腳椅時，則要準備腳踏環(huán)。桌及椅子之腳好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。
芯片盒為放置芯片之用，材質(zhì)以選取擇不易摩損、不發(fā)塵易清潔之材質(zhì)如鐵弗（Teflon）等，至于搬運車則以構(gòu)造簡單為原則，并忌使用折迭式，材質(zhì)仍采用不銹鋼為宜，車輪為耐磨性高之橡膠輪胎，車輪軸承采用雙密封式滾珠軸承。推送搬運車時不得運推而以緩行為適。筆記本之紙質(zhì)應(yīng)采用無塵紙制成者，且不得使用影印數(shù)據(jù)，若非萬不得已須使用，則須將文件放在透明之塑料套內(nèi)或加覆背，同時不可于室內(nèi)撕破或?qū)⒓埲喑梢粓F，避免造成環(huán)境之污染。如表5所示為不同紙張材質(zhì)發(fā)塵量之比較。普通黑板及粉筆當然不能在高無塵車間安裝內(nèi)使用，必要時可在更衣室等無塵車間安裝較低等級的區(qū)域使用白板。無塵車間安裝內(nèi)不得放置清潔用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不銹鋼，且置于維修區(qū)中的固定位置，桶須覆以蓋子，以利管制，并定期清理。
真空吸塵器，其功能是在吸取無塵車間安裝內(nèi)地板上、下及設(shè)備上附著之塵?；蛞后w以防止這些塵粒之再飛揚，以達到清潔的目的，由于真空吸塵器在作業(yè)時會有排氣產(chǎn)生，若未經(jīng)處理，將嚴重影響無塵車間安裝之潔凈度和氣流，因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過濾器，以除去塵埃。唯現(xiàn)今之無塵車間安裝均設(shè)有式吸塵系統(tǒng)，并于現(xiàn)場預(yù)留吸塵口，故一般之清潔過程均利用此系統(tǒng)，以減少使用真空吸塵器時的氣流干擾,在使用式系統(tǒng)時，須注意排氣旦之控制避免使無塵車間安裝內(nèi)之壓力降低至規(guī)定范圍以下。至于真空吸塵器因?qū)贌o塵車間安裝內(nèi)，故不可移至室外使用，若不用時應(yīng)置于較低等級的無塵車間安裝中，旦每次使用后應(yīng)清掃吸管、收塵箱等吸氣系統(tǒng)。

無塵車間裝飾裝修工程的材料選擇，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1、無塵車間工程建設(shè)的設(shè)計要求;
2、應(yīng)滿足防火、 保溫、 隔熱、 防靜電、 振動、 噪聲和其他要求;
3，應(yīng)確保潔凈室空氣密封性的要求，沒有灰塵和顆粒吸附在表面的材料，沒有積累的灰塵;
4、應(yīng)使用不發(fā)霉、 防水、 耐水洗材料應(yīng)清洗干凈，污染物和非易失性的分子;
5，應(yīng)滿足要求的產(chǎn)品質(zhì)量，生產(chǎn)，和可能不會釋放有害影響產(chǎn)品質(zhì)量的材料;
6，應(yīng)遵守國家有關(guān)標準的建筑裝飾裝修材料有害物質(zhì)。
7，潔凈室裝修及裝修工程的植物結(jié)構(gòu)和屋頂完成后的和工程驗收。執(zhí)行現(xiàn)有的建筑，如環(huán)境和現(xiàn)有的潔凈室裝修時設(shè)施應(yīng)予以明確和清潔，清潔施工的施工要求。
8，潔凈室裝修及施工過程中，應(yīng)關(guān)閉，施工現(xiàn)場管理，其中包括獲得清潔控制人員、 設(shè)備和材料，以避免其他工程與建筑的振動和噪聲。
9，潔凈室裝修施工環(huán)境溫度不應(yīng)低于 5 攝氏度。應(yīng)采取低溫施工、 溫度要求和施工作業(yè)絕緣措施。
10，當潔凈室裝修工程應(yīng)保持現(xiàn)場清潔，隱蔽空間，應(yīng)清洗干凈的記錄。
11，潔凈室裝修施工，已完成的表面裝飾工程應(yīng)受到保護，不應(yīng)有影響跳動時，發(fā)生件造成的凹痕、 破壞和污染的表面裝飾。
無塵車間電氣工程施工要求：
1.潔凈空調(diào)配電、照明配電和其他設(shè)備配電應(yīng)單控制。
2.網(wǎng)線、墻上設(shè)備電源利用原有線路，配電箱、插座、照明開關(guān)和網(wǎng)絡(luò)面板均為暗裝。
3.潔凈室應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)要求提供足夠的照明，在施工前進行復(fù)核。
4.每個單區(qū)域照明燈開關(guān)應(yīng)單控制。
5.燈具安裝應(yīng)易于清潔。
6.室內(nèi)潔凈燈具安裝完畢，應(yīng)該及時清掃。
無塵車間凈化裝修施工要求：
1.地面處理做自流平面處理，鋪設(shè)2mm厚PVC地板。
2.根據(jù)CMP規(guī)范要求，潔凈室是設(shè)計和安裝時應(yīng)考慮使用中避免出現(xiàn)不易清潔的部位，工程在進行凈化裝修時，門窗安裝與建筑、凈化空調(diào)、各種管線、照明燈具的結(jié)合部位縫合隙要密封處理。
3.所有的配件、隔墻、吊頂?shù)墓潭ê偷鯍旒荒芘c主體結(jié)構(gòu)相連，不能與設(shè)備和管線支架交叉混用，防止因微震引起裝修材料松動和灰塵脫落。
4.根據(jù)GMP認證檢查標準，室內(nèi)裝修要符合下列要求：
（1）應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。
（2）墻壁和頂棚表面應(yīng)光潔、平整、不起灰、不落塵、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗、減少凹凸面。墻、地面相接處做成變徑等于50mm的圓角。壁面色彩要和諧、雅致、并便于識別污染物。
5.建筑裝飾和門窗的縫隙應(yīng)在正面密封。

無塵車間室內(nèi)裝修：
1、無塵車間的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好， 且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。墻面內(nèi)裝修當需附加構(gòu)造骨架和保溫層時。應(yīng)采用非燃燒體或難燃燒體。
2、無塵車間內(nèi)墻壁和頂棚的表面，應(yīng)符合平整、光滑、不起灰、 避免眩光、便于除塵等要求；應(yīng)減少凹凸面，陰陽角做成圓角。室內(nèi)裝修宜采用于操作；如為抹灰時，應(yīng)采用抹灰標 準。
3、無塵車間的地面，應(yīng)符合平整、耐磨、易除塵清洗、不易積聚 靜電、避免眩光、并有舒適感等要求。
4、無塵車間技術(shù)夾層的墻面、頂棚宜抹灰。如需在技術(shù)夾層內(nèi) 更換空氣過濾器時，宜增刷涂料飾面。地面、回風地溝和位于地下的技術(shù)夾層，應(yīng)采用防水或防潮、防霉措施。 建筑風道和回風地溝的內(nèi)表面裝修標準，應(yīng)與整個送、回風系統(tǒng)相適應(yīng)，并 應(yīng)易于除塵。
5、潔凈廠房和人員凈化用室設(shè)置的外窗，應(yīng)采用雙層玻璃金屬窗，并應(yīng)有良好的氣密性。
6、潔凈廠房內(nèi)的密閉門宜朝空氣潔凈度較高的房間開啟。無窗潔 凈室的密閉門上宜設(shè)觀察窗。
7、無塵車間門窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構(gòu)造和施工縫隙， 均應(yīng)采取可靠的密封措施。
8、潔凈廠房內(nèi)的色彩宜淡雅柔和。室內(nèi)各表面材料的光反射系數(shù)， 頂棚和墻面宜為0．6－0．8；地面宜為0．15--0．35。
無塵車間空氣凈化：
1、無塵車間內(nèi)有多種工序時，應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求，采用不同的空氣潔凈度等級。
2、在滿足人生產(chǎn)工藝要求的前提下，潔凈廠房的氣流組級別，宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式。
3、層流潔凈廠房和亂流潔凈廠房以及運行班次和使用時間不同的潔凈廠房，其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。
4、無塵車間內(nèi)應(yīng)一定的新鮮空氣量，其數(shù)值頻取下列風量中的大值；亂流潔凈廠房總送風量的10%～30%，層流潔凈廠房總送風量的2～4%；補償室內(nèi)排風和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。
5、潔凈區(qū)的清掃，宜采用移動式真空吸塵器或設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈廠房內(nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道，應(yīng)暗敷。