無塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進行，否則易導(dǎo)致內(nèi)外壓強及溫度差，造成外部大氣沖入箱內(nèi)等突發(fā)狀況；2、升溫過程中，加熱指示燈長亮，達到設(shè)置溫度后，加熱自動停止，同時指示燈熄滅。待溫度低于設(shè)置溫度時，加熱再次啟動，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負責(zé)人。

溫度設(shè)置1、設(shè)置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點、沸點驟降，設(shè)置溫度不合理會造成固態(tài)物料熔融結(jié)塊等現(xiàn)象；2、數(shù)顯溫度需正常指示，若不顯示或出現(xiàn)閃爍、跳躍等異常需及時關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負責(zé)人；3、操作人員需待實際溫度與設(shè)置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；4、為避免控溫失靈，需有專人定時查看儀器運行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現(xiàn)異常需第D一時間關(guān)閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。

無塵潔凈烤箱內(nèi)外應(yīng)經(jīng)常保持清潔，長期不用應(yīng)罩好塑料防塵罩，放在干燥的室內(nèi)，高溫狀態(tài)下禁止打開箱門，加熱過程中務(wù)必風(fēng)機是正常運轉(zhuǎn)，嚴禁安裝在潮濕的環(huán)境下運行，操作人員熟悉無塵潔凈烤箱的結(jié)構(gòu)、性能、工作原理及調(diào)整方法，操作方法及保養(yǎng)知識。

無塵潔凈烤箱需要使用定時器時，先將定時時間值設(shè)定好，再將定時開關(guān)擰在“開”的位置即可，如果需要觀察臺車烘箱的濕度，請按下濕度表下面的紅色開關(guān)。受熱后易燃易爆的物料不能進入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應(yīng)立即停機檢查，待維修正常后使用。無塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應(yīng)放置在具有良好通風(fēng)條件的室內(nèi)，在其周圍不可放置易燃易爆物品。

無塵潔凈烤箱內(nèi)物品放置切勿過擠，留出空間，以利熱空氣循環(huán)，無防爆裝置，不得放入易燃易爆物品干燥，使用安全，易耗品如密封圈、熱風(fēng)電機、加熱管、拉手等應(yīng)定期保養(yǎng)，清潔灰塵。要做好無塵潔凈烤箱的日常維護保養(yǎng)工作，使用、維護應(yīng)有專職人員進行，保養(yǎng)時先切斷電源，安全。