一般的電熱（鼓風(fēng)）無塵干燥箱均設(shè)有溫度均勻度參數(shù)：自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強(qiáng)制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟電熱真空干燥箱不設(shè)溫度均勻度參數(shù)，這是為什么？真空干燥箱內(nèi)依靠氣體分子運(yùn)動使工作室溫度達(dá)到均勻的可能性幾乎已經(jīng)沒有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風(fēng)）干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。在真空狀態(tài)下設(shè)這個(gè)指標(biāo)也是沒有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個(gè)物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現(xiàn)象與冬天曬太陽時(shí)，曬到太陽的一面很暖和，曬不到太陽的一面比較冷是一個(gè)道理。由于真空干燥箱在結(jié)構(gòu)上很難做到使工作室三維空間內(nèi)的各點(diǎn)輻射熱的均勻一致，同時(shí)也缺乏的評估方法，這有可能是電熱真空干燥箱標(biāo)準(zhǔn)中不設(shè)溫度均勻度參數(shù)的原因。

無塵潔凈烘箱的使用注意事項(xiàng)及操作規(guī)程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區(qū)的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對烘箱內(nèi)溫度實(shí)時(shí)多點(diǎn)顯示及自動記錄。C出風(fēng)口裝有耐高溫空氣過濾器，每次運(yùn)風(fēng)循環(huán)均充分過濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對內(nèi)部的二次污染.D.裝有過濾器，電熱烘箱內(nèi)部循環(huán)熱風(fēng)經(jīng)高溫空氣過濾器反復(fù)過濾，了進(jìn)入無塵空間的熱風(fēng)達(dá)到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統(tǒng)及運(yùn)風(fēng)系統(tǒng)，了各潔凈區(qū)之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時(shí)潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護(hù))，防止被烘烤產(chǎn)品的氧化

無塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進(jìn)行，否則易導(dǎo)致內(nèi)外壓強(qiáng)及溫度差，造成外部大氣沖入箱內(nèi)等突發(fā)狀況；2、升溫過程中，加熱指示燈長亮，達(dá)到設(shè)置溫度后，加熱自動停止，同時(shí)指示燈熄滅。待溫度低于設(shè)置溫度時(shí)，加熱再次啟動，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人。

溫度設(shè)置1、設(shè)置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點(diǎn)、沸點(diǎn)驟降，設(shè)置溫度不合理會造成固態(tài)物料熔融結(jié)塊等現(xiàn)象；2、數(shù)顯溫度需正常指示，若不顯示或出現(xiàn)閃爍、跳躍等異常需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人；3、操作人員需待實(shí)際溫度與設(shè)置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；4、為避免控溫失靈，需有專人定時(shí)查看儀器運(yùn)行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現(xiàn)異常需第D一時(shí)間關(guān)閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。

按動“加熱”開關(guān)（加熱器通電），無塵潔凈烤箱進(jìn)入正常工作，根據(jù)工藝要求設(shè)定溫度，當(dāng)臺車烘箱溫度上升接近設(shè)定值時(shí)，加熱器電源時(shí)通時(shí)斷，臺車烘箱進(jìn)入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結(jié)束后應(yīng)立即關(guān)閉電源開關(guān)，做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無塵潔凈烤箱正面上方設(shè)有一圓形進(jìn)氣口，調(diào)節(jié)進(jìn)氣口大小可調(diào)節(jié)烘箱的進(jìn)氣量，其進(jìn)氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據(jù)實(shí)際情況合理調(diào)節(jié)進(jìn)排氣量，一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動或溫度較低時(shí)關(guān)閉進(jìn)氣門，以利無塵潔凈烤箱的溫度上升，當(dāng)無塵潔凈烤箱內(nèi)溫度較高時(shí)打開進(jìn)氣門，以利于水分排出。