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無塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
按動(dòng)“加熱”開關(guān)（加熱器通電），無塵潔凈烤箱進(jìn)入正常工作，根據(jù)工藝要求設(shè)定溫度，當(dāng)臺(tái)車烘箱溫度上升接近設(shè)定值時(shí)，加熱器電源時(shí)通時(shí)斷，臺(tái)車烘箱進(jìn)入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結(jié)束后應(yīng)立即關(guān)閉電源開關(guān)，做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無塵潔凈烤箱正面上方設(shè)有一圓形進(jìn)氣口，調(diào)節(jié)進(jìn)氣口大小可調(diào)節(jié)烘箱的進(jìn)氣量，其進(jìn)氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據(jù)實(shí)際情況合理調(diào)節(jié)進(jìn)排氣量，一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動(dòng)或溫度較低時(shí)關(guān)閉進(jìn)氣門，以利無塵潔凈烤箱的溫度上升，當(dāng)無塵潔凈烤箱內(nèi)溫度較高時(shí)打開進(jìn)氣門，以利于水分排出。
無塵烤箱是一種用于制造、低污染的產(chǎn)品的設(shè)備。它的原理是將材料在高溫環(huán)境下烤制，可以有效地降低灰塵的排放，預(yù)防材料在烤箱內(nèi)變質(zhì)。在過去，制作特定產(chǎn)品時(shí)，在低溫下烘烤，因此產(chǎn)生的灰塵量很大。通過使用無塵烤箱，可以有效地降低灰塵污染產(chǎn)品的質(zhì)量和潔凈度。
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