設(shè)備包括：

電子槍，產(chǎn)生電子束，
工作腔，大部分被抽成“低”或“高”真空，
工件機(jī)械手（定位機(jī)構(gòu)），
電源以及控制和監(jiān)視電子設(shè)備。

電子束設(shè)備為束發(fā)生器提供適當(dāng)?shù)碾娫?。加速電壓可以?0到200 kV之間選擇。通常取決于各種條件，約為60或150 kV。隨著電壓的升高，技術(shù)問題和設(shè)備價格迅速上升，因此，只要有可能，就應(yīng)選擇大約60 kV的較低電壓。高壓電源的xxx功率取決于所需的焊接深度。

高壓設(shè)備還為陰極加熱提供5 V以上的低壓，為控制電極提供高達(dá)約1000 V的負(fù)電壓。電子槍還需要用于校正系統(tǒng)，聚焦透鏡和偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的低壓電源。如果要提供計算機(jī)控制的成像，雕刻或類似的光束應(yīng)用，后提到的可能會非常復(fù)雜。可能還需要復(fù)雜的電子設(shè)備來控制工件機(jī)械手。

電子束焊按被焊工件所在環(huán)境的真空度可分為三種：高真空電子束焊，低真空電子束焊和非真空電子束焊：
高真空電子束焊在10-4～10-1Pa的壓強下進(jìn)行。真空條件，可以對熔池的“維護(hù)”防止金屬元素的氧化和燒損，適用于活性金屬、難熔金屬和質(zhì)量要求高的工件的焊接。
低真空電子束焊在10-1～10Pa的壓強下進(jìn)行，也具有束流密度和功率密度高的特征。由于只需抽到低真空，縮短了抽真空時間，提高了出產(chǎn)率，適用于批量大的零件的焊接和在出產(chǎn)線上運用。

宇航技術(shù)中所用各類火箭、衛(wèi)星、飛船、空間站、太陽能電站等的結(jié)構(gòu)件、發(fā)動機(jī)以及各種儀器均需用焊接技術(shù)來完結(jié)，電子束焊接將是完結(jié)空間結(jié)構(gòu)焊接和滿足其需求的強有力技術(shù)。且跟著設(shè)備、技術(shù)等國產(chǎn)化趨勢的增強，及電子束焊接等技術(shù)對焊材及人工本錢的大幅下降優(yōu)勢逐漸趨于明顯等，國內(nèi)電子束焊機(jī)等電子束金屬加工設(shè)備工作展開將迎來利好趨勢，給電子束焊機(jī)的展開增添了新的生機(jī)。

電子束焊機(jī)還有一些輔佐設(shè)備，比如電子槍，渙散泵以及渦輪分子泵等，作業(yè)時均會發(fā)熱，為堅持正常作業(yè)，這些都需求用循環(huán)水進(jìn)行冷卻。因此，真空電子束焊機(jī)還需求制作有冷卻水的系統(tǒng)，包括水的凈化過濾及軟扮裝。 其他真空系統(tǒng)各級閥門一般要求用壓縮空氣，因此需求有供氣系統(tǒng)及凈化壓縮空氣的油水分離設(shè)備。