設(shè)備包括：

電子槍，產(chǎn)生電子束，
工作腔，大部分被抽成“低”或“高”真空，
工件機(jī)械手（定位機(jī)構(gòu)），
電源以及控制和監(jiān)視電子設(shè)備。

為了使電子槍正常工作，相對(duì)于加速電子透鏡和磁聚焦透鏡的光軸地調(diào)整電子束。這可以通過(guò)在聚焦透鏡之前施加一些特定的徑向方向的磁場(chǎng)和垂直于光軸的強(qiáng)度來(lái)完成。這通常是通過(guò)一個(gè)簡(jiǎn)單的校正系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的，該校正系統(tǒng)由兩對(duì)線圈組成。通過(guò)調(diào)節(jié)這些線圈中的電流，可以產(chǎn)生任何所需的校正場(chǎng)。

真空工作室可以具有任何期望的體積，從幾升到幾百立方米。它們可以配備電子槍，以提供任何所需的功率高達(dá)100 kW的電子束，如果需要，甚至更高。在微電子束裝置中，尺寸可以到十分之一毫米的部件可以被焊接。在具有足夠高功率電子束的焊機(jī)中，可以實(shí)現(xiàn)300 mm深的焊接。還有一些焊接機(jī)，其中電子束從真空中帶到大氣中。使用這種設(shè)備，無(wú)需的工作室即可焊接非常大的物體。

電子束設(shè)備為束發(fā)生器提供適當(dāng)?shù)碾娫础＜铀匐妷嚎梢栽?0到200 kV之間選擇。通常取決于各種條件，約為60或150 kV。隨著電壓的升高，技術(shù)問(wèn)題和設(shè)備價(jià)格迅速上升，因此，只要有可能，就應(yīng)選擇大約60 kV的較低電壓。高壓電源的xxx功率取決于所需的焊接深度。

高壓設(shè)備還為陰極加熱提供5 V以上的低壓，為控制電極提供高達(dá)約1000 V的負(fù)電壓。電子槍還需要用于校正系統(tǒng)，聚焦透鏡和偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的低壓電源。如果要提供計(jì)算機(jī)控制的成像，雕刻或類似的光束應(yīng)用，后提到的可能會(huì)非常復(fù)雜?？赡苓€需要復(fù)雜的電子設(shè)備來(lái)控制工件機(jī)械手。

真空分散焊焊接特色：
(1)接頭強(qiáng)度高。特別適用于選用熔焊易產(chǎn)生裂紋的資料的焊接，由于不改動(dòng)母材性質(zhì)，因而接頭化學(xué)成分、組織性能與母材相同或接近，接頭強(qiáng)度高。
(2)可焊接資料品種多。真空擴(kuò)散焊機(jī)可焊接多種同類金屬及合金，同時(shí)還能焊接許多異種資料。如果選用加過(guò)渡合金層的真空分散焊，還能夠焊接物理化學(xué)性能差異很大，高溫下易構(gòu)成脆性化合物的異種或同種資料。
(3)可用于需要大面積結(jié)合的零部件、疊層構(gòu)件、中空型構(gòu)件、多孔型或具有雜亂內(nèi)部通道的構(gòu)件、封閉性內(nèi)部結(jié)合件以及其他焊接辦法可達(dá)性差的零部件的制造。
(4)真空擴(kuò)散焊機(jī)分散焊接為整體加熱，構(gòu)件變形小、尺度精度高