在電子槍中，自由電子是從熱金屬帶（或金屬絲）通過熱發(fā)射獲得的。然后通過三個(gè)電極產(chǎn)生的電場將它們加速并形成狹窄的會聚束：電子發(fā)射帶，連接到高壓（加速）電源（30-200 kV）負(fù)極和正極的陰極。高壓電極、陽極。第三個(gè)電極相對于陰極帶負(fù)電，稱為Wehnelt電極或控制電極。它的負(fù)電位控制發(fā)射的電子進(jìn)入加速場的部分，即電子束電流。

快速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)也可以用于成像和雕刻（如果配備了適當(dāng)?shù)碾娮釉O(shè)備）。在這種情況下，設(shè)備像掃描電子顯微鏡一樣操作，分辨率約為0.1毫米（受光束直徑限制）。在類似的模式下，由計(jì)算機(jī)控制的細(xì)光束可以通過熔化薄的表面層在金屬表面“寫”或“畫”圖片。

即使沒有在真空中實(shí)現(xiàn)，電子束焊接也永遠(yuǎn)不能“手動”進(jìn)行，因?yàn)槭冀K會產(chǎn)生強(qiáng)烈的X射線。梁和工件的相對運(yùn)動通常是通過工件的旋轉(zhuǎn)或線性移動來實(shí)現(xiàn)的。在某些情況下，可通過計(jì)算機(jī)控制的偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)移動光束來實(shí)現(xiàn)焊接。工件機(jī)械手大多是單設(shè)計(jì)的，可以滿足焊接設(shè)備的特定要求。

真空分散焊焊接特色：
(1)接頭強(qiáng)度高。特別適用于選用熔焊易產(chǎn)生裂紋的資料的焊接，由于不改動母材性質(zhì)，因而接頭化學(xué)成分、組織性能與母材相同或接近，接頭強(qiáng)度高。
(2)可焊接資料品種多。真空擴(kuò)散焊機(jī)可焊接多種同類金屬及合金，同時(shí)還能焊接許多異種資料。如果選用加過渡合金層的真空分散焊，還能夠焊接物理化學(xué)性能差異很大，高溫下易構(gòu)成脆性化合物的異種或同種資料。
(3)可用于需要大面積結(jié)合的零部件、疊層構(gòu)件、中空型構(gòu)件、多孔型或具有雜亂內(nèi)部通道的構(gòu)件、封閉性內(nèi)部結(jié)合件以及其他焊接辦法可達(dá)性差的零部件的制造。
(4)真空擴(kuò)散焊機(jī)分散焊接為整體加熱，構(gòu)件變形小、尺度精度高

20 世紀(jì) 60 年代初，電子束焊機(jī)逐漸運(yùn)用于飛機(jī)制造業(yè)和宇航工業(yè)中名貴金屬的焊接。跟著現(xiàn)代航空和宇航等技術(shù)的運(yùn)用而敏捷展開起來，成功地處理了為現(xiàn)代產(chǎn)品而展開的各種新式材料的焊接問題。電子束焊接并且在汽車工業(yè)、船舶工業(yè)和機(jī)械制造業(yè)等領(lǐng)域運(yùn)用也日益廣泛。

電子束焊機(jī)還有一些輔佐設(shè)備，比如電子槍，渙散泵以及渦輪分子泵等，作業(yè)時(shí)均會發(fā)熱，為堅(jiān)持正常作業(yè)，這些都需求用循環(huán)水進(jìn)行冷卻。因此，真空電子束焊機(jī)還需求制作有冷卻水的系統(tǒng)，包括水的凈化過濾及軟扮裝。 其他真空系統(tǒng)各級閥門一般要求用壓縮空氣，因此需求有供氣系統(tǒng)及凈化壓縮空氣的油水分離設(shè)備。