設備包括：

電子槍，產(chǎn)生電子束，
工作腔，大部分被抽成“低”或“高”真空，
工件機械手（定位機構），
電源以及控制和監(jiān)視電子設備。

為了使電子槍正常工作，相對于加速電子透鏡和磁聚焦透鏡的光軸地調(diào)整電子束。這可以通過在聚焦透鏡之前施加一些特定的徑向方向的磁場和垂直于光軸的強度來完成。這通常是通過一個簡單的校正系統(tǒng)來實現(xiàn)的，該校正系統(tǒng)由兩對線圈組成。通過調(diào)節(jié)這些線圈中的電流，可以產(chǎn)生任何所需的校正場。

通過聚焦透鏡后，光束可以直接或通過偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)偏轉(zhuǎn)后用于焊接。它由兩對線圈組成，每個X和Y方向一個。這些可以用于“靜態(tài)”或“動態(tài)”偏轉(zhuǎn)。靜態(tài)偏轉(zhuǎn)對于通過焊接定位梁很有用。動態(tài)偏轉(zhuǎn)是通過向偏轉(zhuǎn)線圈提供可由計算機控制的電流來實現(xiàn)的。這為電子束應用開辟了新的可能性，例如表面硬化或退火，的電子束定位等。

快速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)也可以用于成像和雕刻（如果配備了適當?shù)碾娮釉O備）。在這種情況下，設備像掃描電子顯微鏡一樣操作，分辨率約為0.1毫米（受光束直徑限制）。在類似的模式下，由計算機控制的細光束可以通過熔化薄的表面層在金屬表面“寫”或“畫”圖片。

電子束焊機加工是在真空條件下，利用電流加熱陰極發(fā)射電子束，帶負電荷的電子束高速飛向陽極，途中經(jīng)加快極加快，并經(jīng)過電磁透鏡聚集，使能量密度十分會集，可以把一千瓦或更高的功率會集到直徑為5～10μm的斑駁上，獲得高達109W/cm2左右的功率密度。如此高的功率密度，可使任何材料被沖擊部分的溫度，在百萬分之一秒時間內(nèi)升高到攝氏幾千度以上，熱量還來不及向周圍擴散，就已把局部材料瞬時熔化、氣化直到蒸騰去除。隨著孔不斷變深，電子束焊機照耀點亦越深入。由于孔的內(nèi)側(cè)壁對電子束發(fā)生"壁聚集"，所以加工點或許到達很深的深度，從而可打出很細很深的微孔。

真空分散焊焊接特色：
(1)接頭強度高。特別適用于選用熔焊易產(chǎn)生裂紋的資料的焊接，由于不改動母材性質(zhì)，因而接頭化學成分、組織性能與母材相同或接近，接頭強度高。
(2)可焊接資料品種多。真空擴散焊機可焊接多種同類金屬及合金，同時還能焊接許多異種資料。如果選用加過渡合金層的真空分散焊，還能夠焊接物理化學性能差異很大，高溫下易構成脆性化合物的異種或同種資料。
(3)可用于需要大面積結(jié)合的零部件、疊層構件、中空型構件、多孔型或具有雜亂內(nèi)部通道的構件、封閉性內(nèi)部結(jié)合件以及其他焊接辦法可達性差的零部件的制造。
(4)真空擴散焊機分散焊接為整體加熱，構件變形小、尺度精度高

宇航技術中所用各類火箭、衛(wèi)星、飛船、空間站、太陽能電站等的結(jié)構件、發(fā)動機以及各種儀器均需用焊接技術來完結(jié)，電子束焊接將是完結(jié)空間結(jié)構焊接和滿足其需求的強有力技術。且跟著設備、技術等國產(chǎn)化趨勢的增強，及電子束焊接等技術對焊材及人工本錢的大幅下降優(yōu)勢逐漸趨于明顯等，國內(nèi)電子束焊機等電子束金屬加工設備工作展開將迎來利好趨勢，給電子束焊機的展開增添了新的生機。

一臺典型的真空電子束焊機首要包括了主機，控制箱，高壓電源，真空抽氣系統(tǒng)和監(jiān)測控制器四大部分。
1.真空電子束焊機主機由電子槍、真空室和工件傳動系統(tǒng)及操作臺組成。
2.真空電子束焊機的高壓電源包括：陽壓主電源、陰極加熱電源，以及束流控制用高壓電源系統(tǒng)。
3.真空電子束焊機的控制箱包括：高壓電源控制設備、電子槍陰極加熱電源的控制系統(tǒng)、束流控制設備、聚集電源控制設備，以及束偏轉(zhuǎn)發(fā)生器等。
4.真空抽氣系統(tǒng)包括：電子槍抽氣系統(tǒng)、作業(yè)室抽氣系統(tǒng)?以及真空控制及監(jiān)測設備。

電子束焊機還有一些輔佐設備，比如電子槍，渙散泵以及渦輪分子泵等，作業(yè)時均會發(fā)熱，為堅持正常作業(yè)，這些都需求用循環(huán)水進行冷卻。因此，真空電子束焊機還需求制作有冷卻水的系統(tǒng)，包括水的凈化過濾及軟扮裝。 其他真空系統(tǒng)各級閥門一般要求用壓縮空氣，因此需求有供氣系統(tǒng)及凈化壓縮空氣的油水分離設備。