設(shè)備包括：

電子槍，產(chǎn)生電子束，
工作腔，大部分被抽成“低”或“高”真空，
工件機(jī)械手（定位機(jī)構(gòu)），
電源以及控制和監(jiān)視電子設(shè)備。

為了使電子槍正常工作，相對(duì)于加速電子透鏡和磁聚焦透鏡的光軸地調(diào)整電子束。這可以通過(guò)在聚焦透鏡之前施加一些特定的徑向方向的磁場(chǎng)和垂直于光軸的強(qiáng)度來(lái)完成。這通常是通過(guò)一個(gè)簡(jiǎn)單的校正系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的，該校正系統(tǒng)由兩對(duì)線圈組成。通過(guò)調(diào)節(jié)這些線圈中的電流，可以產(chǎn)生任何所需的校正場(chǎng)。

即使沒有在真空中實(shí)現(xiàn)，電子束焊接也永遠(yuǎn)不能“手動(dòng)”進(jìn)行，因?yàn)槭冀K會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的X射線。梁和工件的相對(duì)運(yùn)動(dòng)通常是通過(guò)工件的旋轉(zhuǎn)或線性移動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。在某些情況下，可通過(guò)計(jì)算機(jī)控制的偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)移動(dòng)光束來(lái)實(shí)現(xiàn)焊接。工件機(jī)械手大多是單設(shè)計(jì)的，可以滿足焊接設(shè)備的特定要求。

電子束設(shè)備為束發(fā)生器提供適當(dāng)?shù)碾娫?。加速電壓可以?0到200 kV之間選擇。通常取決于各種條件，約為60或150 kV。隨著電壓的升高，技術(shù)問(wèn)題和設(shè)備價(jià)格迅速上升，因此，只要有可能，就應(yīng)選擇大約60 kV的較低電壓。高壓電源的xxx功率取決于所需的焊接深度。

電子束焊按被焊工件所在環(huán)境的真空度可分為三種：高真空電子束焊，低真空電子束焊和非真空電子束焊：
高真空電子束焊在10-4～10-1Pa的壓強(qiáng)下進(jìn)行。真空條件，可以對(duì)熔池的“維護(hù)”防止金屬元素的氧化和燒損，適用于活性金屬、難熔金屬和質(zhì)量要求高的工件的焊接。
低真空電子束焊在10-1～10Pa的壓強(qiáng)下進(jìn)行，也具有束流密度和功率密度高的特征。由于只需抽到低真空，縮短了抽真空時(shí)間，提高了出產(chǎn)率，適用于批量大的零件的焊接和在出產(chǎn)線上運(yùn)用。

一臺(tái)典型的真空電子束焊機(jī)首要包括了主機(jī)，控制箱，高壓電源，真空抽氣系統(tǒng)和監(jiān)測(cè)控制器四大部分。
1.真空電子束焊機(jī)主機(jī)由電子槍、真空室和工件傳動(dòng)系統(tǒng)及操作臺(tái)組成。
2.真空電子束焊機(jī)的高壓電源包括：陽(yáng)壓主電源、陰極加熱電源，以及束流控制用高壓電源系統(tǒng)。
3.真空電子束焊機(jī)的控制箱包括：高壓電源控制設(shè)備、電子槍陰極加熱電源的控制系統(tǒng)、束流控制設(shè)備、聚集電源控制設(shè)備，以及束偏轉(zhuǎn)發(fā)生器等。
4.真空抽氣系統(tǒng)包括：電子槍抽氣系統(tǒng)、作業(yè)室抽氣系統(tǒng)?以及真空控制及監(jiān)測(cè)設(shè)備。