設(shè)備包括：

電子槍，產(chǎn)生電子束，
工作腔，大部分被抽成“低”或“高”真空，
工件機(jī)械手（定位機(jī)構(gòu)），
電源以及控制和監(jiān)視電子設(shè)備。

在電子槍中，自由電子是從熱金屬帶（或金屬絲）通過熱發(fā)射獲得的。然后通過三個(gè)電極產(chǎn)生的電場(chǎng)將它們加速并形成狹窄的會(huì)聚束：電子發(fā)射帶，連接到高壓（加速）電源（30-200 kV）負(fù)極和正極的陰極。高壓電極、陽(yáng)極。第三個(gè)電極相對(duì)于陰極帶負(fù)電，稱為Wehnelt電極或控制電極。它的負(fù)電位控制發(fā)射的電子進(jìn)入加速場(chǎng)的部分，即電子束電流。

快速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)也可以用于成像和雕刻（如果配備了適當(dāng)?shù)碾娮釉O(shè)備）。在這種情況下，設(shè)備像掃描電子顯微鏡一樣操作，分辨率約為0.1毫米（受光束直徑限制）。在類似的模式下，由計(jì)算機(jī)控制的細(xì)光束可以通過熔化薄的表面層在金屬表面“寫”或“畫”圖片。

電子束焊機(jī)加工是在真空條件下，利用電流加熱陰極發(fā)射電子束，帶負(fù)電荷的電子束高速飛向陽(yáng)極，途中經(jīng)加快極加快，并經(jīng)過電磁透鏡聚集，使能量密度十分會(huì)集，可以把一千瓦或更高的功率會(huì)集到直徑為5～10μm的斑駁上，獲得高達(dá)109W/cm2左右的功率密度。如此高的功率密度，可使任何材料被沖擊部分的溫度，在百萬分之一秒時(shí)間內(nèi)升高到攝氏幾千度以上，熱量還來不及向周圍擴(kuò)散，就已把局部材料瞬時(shí)熔化、氣化直到蒸騰去除。隨著孔不斷變深，電子束焊機(jī)照耀點(diǎn)亦越深入。由于孔的內(nèi)側(cè)壁對(duì)電子束發(fā)生"壁聚集"，所以加工點(diǎn)或許到達(dá)很深的深度，從而可打出很細(xì)很深的微孔。

電子束焊機(jī)加工具有以下的特色：
1）能量密度高電子束聚集點(diǎn)范圍小，能量密度高，適合于加工精微深孔和窄縫等。且加工速度快，。
2）工件變形小電子束加工是一種熱加工，主要靠瞬時(shí)蒸騰，工件很少發(fā)生應(yīng)力和變形，并且不存在工具損耗。適合于加工脆性、耐性、導(dǎo)體、半導(dǎo)體、非導(dǎo)體以及熱敏性材料。
3）加工點(diǎn)上化學(xué)純度高 由于整個(gè)電子束加工是在真空度1.33×10－2～1.33×10－4 Pa的真空室內(nèi)進(jìn)行的，所以熔化時(shí)可以防止由于空氣的氧化作用所發(fā)生的雜質(zhì)缺點(diǎn)。適合于加工易氧化的金屬及合金材料，特別是要求純度高的半導(dǎo)體材料。
4）電子束焊機(jī)可控性好 電子束的強(qiáng)度和方位均可由電、磁的方法直接控制，便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化加工。

電子束焊技術(shù)早于1948年源起于德國(guó)，1952年制作了臺(tái)電子束加工機(jī)，1958年誕生了臺(tái)電子束焊機(jī)。真空電子束焊機(jī)提示它的基本原理是：真空條件下，電子槍發(fā)射的電子束在高電壓（通常是20kV～300kV）加快下（0.3～0.7倍的光速），通過電磁透鏡聚集成高能量密度的電子束，當(dāng)電子束炮擊工件時(shí)，電子的動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能，焊區(qū)的部分溫度突然上升到6000℃以上，使工件材料熔化，完結(jié)焊接。